link Источник: www.edx.org
list 7 последовательности
assignment Уровень : Продвинутый
chat_bubble_outline Язык : английский
language Субтитры : французский
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timer 21 час курса

Резюме

Microfabrication and nanofabrication are the basis of manufacturing for nearly all modern miniaturized systems that are ubiquitously used in our daily life. Examples include; computer chips and integrated sensors for monitoring our environment, cars, mobile phones, medical devices and more.

Micro- and nanofabrication can be taught to students and professionals by textbooks and ex-cathedra lectures, but the real learning comes from seeing the manufacturing steps as they happen.

In this engineering course, we will go a step beyond classroom teaching to not only explain the basics of each fabrication step but also show you how it’s done through video sequences and zooming into the equipment.

  • How to select the correct fabrication process for a specific micro-device or microsystem
  • Establish the workflow for the cleanroom processes
  • Identify how physical and chemical phenomena govern miniaturized systems for various applications
  • Resource planning for a given microsystem fabrication

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Специальные требования

Basics in Physics and Chemistry

dns

Программа

Week 1: MEMS and cleanroom introduction
This module introduces the basics of electromechanical systems (MEMS) and cleanroom fabrication. Week 2: Chemical vapor deposition (CVD)
This module on chemical vapor deposition or CVD describes in detail basic principles of CVD and will show you the cleanroom infrastructure that is used to run a CVD process. Week 3: Physical vapor deposition (PVD)
This module on physical vapor deposition describes in details the two main PVD methods; thermal evaporation and sputtering. Week 4: Lithography
This module on lithography describes in details the two main resist patterning methods: optical and electron beam lithography. Week 5: Dry etching
This module on dry etching describes etching in a gas environment. We will introduce etching directionality and anisotropy and give a few simple rules for choosing dry etching processes for specific materials in a plasma reactor and provide theoretical concepts that characterize a plasma in a dry etching equipment. Week 6: Wet etching
This module on wet etching describes etching in a liquid environment. We will introduce anisotropic wet etching of silicon substrates, where certain lattice planes are etched and others not, isotropic etching of silicon, and finally thin membrane microfabrication techniques using wet etching. Week 7: Inspection and metrology
This module describes methods of inspection and metrology based on four technique categories: optical, mechanical, charged beam and electrical.

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Пользователи

Juergen Brugger
Professor in Microengineering and Materials Science
EPFL

Martin Gijs
Professor of Microsystems
EPFL

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Разработчик

École Polytechnique Fédérale de Lausanne

L’École polytechnique fédérale de Lausanne (EPFL) est une institution universitaire de renommée internationale, spécialisée dans le domaine de la science et de la technologie, située à Lausanne, bien que sur le territoire communal d'Écublens, en Suisse et fondée en 1853, sous le nom d’École spéciale de Lausanne.

assistant

Платформа

Edx

EdX est une plateforme d'apprentissage en ligne (dite FLOT ou MOOC). Elle héberge et met gratuitement à disposition des cours en ligne de niveau universitaire à travers le monde entier. Elle mène également des recherches sur l'apprentissage en ligne et la façon dont les utilisateurs utilisent celle-ci. Elle est à but non lucratif et la plateforme utilise un logiciel open source.

EdX a été fondée par le Massachusetts Institute of Technology et par l'université Harvard en mai 2012. En 2014, environ 50 écoles, associations et organisations internationales offrent ou projettent d'offrir des cours sur EdX. En juillet 2014, elle avait plus de 2,5 millions d'utilisateurs suivant plus de 200 cours en ligne.

Les deux universités américaines qui financent la plateforme ont investi 60 millions USD dans son développement. La plateforme France Université Numérique utilise la technologie openedX, supportée par Google.

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Платформа
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Анимация
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