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Micro and Nanofabrication (MEMS)
Curso
en
Inglês
Legendas disponíveis
21 h
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- Individualizado
- Acesso livre
- Certificado pago
- 7 sequências
- Advanced Level
- Legendas em French
Detalhes do curso
Programa de Estudos
Week 1: MEMS and cleanroom introduction
This module introduces the basics of electromechanical systems (MEMS) and cleanroom fabrication. Week 2: Chemical vapor deposition (CVD)
This module on chemical vapor deposition or CVD describes in detail basic principles of CVD and will show you the cleanroom infrastructure that is used to run a CVD process. Week 3: Physical vapor deposition (PVD)
This module on physical vapor deposition describes in details the two main PVD methods; thermal evaporation and sputtering. Week 4: Lithography
This module on lithography describes in details the two main resist patterning methods: optical and electron beam lithography. Week 5: Dry etching
This module on dry etching describes etching in a gas environment. We will introduce etching directionality and anisotropy and give a few simple rules for choosing dry etching processes for specific materials in a plasma reactor and provide theoretical concepts that characterize a plasma in a dry etching equipment. Week 6: Wet etching
This module on wet etching describes etching in a liquid environment. We will introduce anisotropic wet etching of silicon substrates, where certain lattice planes are etched and others not, isotropic etching of silicon, and finally thin membrane microfabrication techniques using wet etching. Week 7: Inspection and metrology
This module describes methods of inspection and metrology based on four technique categories: optical, mechanical, charged beam and electrical.
Pré-requisito
Basics in Physics and Chemistry
Instrutores
Juergen Brugger
Professor in Microengineering and Materials Science
EPFL
Martin Gijs
Professor of Microsystems
EPFL
Editor
A École polytechnique fédérale de Lausanne (EPFL) é uma universidade de investigação em Lausanne, na Suíça, especializada em ciências físicas e engenharia.
A EPFL é um dos dois Institutos Federais Suíços de Tecnologia. Foi fundada pelo governo federal suíço com a seguinte missão
formar engenheiros e cientistas ao mais alto nível internacional
ser um centro nacional de excelência em ciência e tecnologia
constituir um centro de interação entre a comunidade científica e a indústria.
A EPFL é considerada uma das universidades mais prestigiadas do mundo no domínio da engenharia e da ciência. Está classificada em 17º lugar geral e 10º em engenharia no QS World University Rankings 2015; 34º lugar geral e 12º em engenharia no Times Higher Education World University Rankings 2015.
Plataforma
EdX est une plateforme d'apprentissage en ligne (dite FLOT ou MOOC). Elle héberge et met gratuitement à disposition des cours en ligne de niveau universitaire à travers le monde entier. Elle mène également des recherches sur l'apprentissage en ligne et la façon dont les utilisateurs utilisent celle-ci. Elle est à but non lucratif et la plateforme utilise un logiciel open source.
EdX a été fondée par le Massachusetts Institute of Technology et par l'université Harvard en mai 2012. En 2014, environ 50 écoles, associations et organisations internationales offrent ou projettent d'offrir des cours sur EdX. En juillet 2014, elle avait plus de 2,5 millions d'utilisateurs suivant plus de 200 cours en ligne.
Les deux universités américaines qui financent la plateforme ont investi 60 millions USD dans son développement. La plateforme France Université Numérique utilise la technologie openedX, supportée par Google.
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