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Micro and Nanofabrication (MEMS)
Cours
en
Anglais
Sous-titres disponibles
21 h
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- À son rythme
- Accès libre
- Certificat payant
- 7 séquences
- Niveau Avancé
- Sous-titres en French
Détails du cours
Déroulé
Week 1: MEMS and cleanroom introduction
This module introduces the basics of electromechanical systems (MEMS) and cleanroom fabrication. Week 2: Chemical vapor deposition (CVD)
This module on chemical vapor deposition or CVD describes in detail basic principles of CVD and will show you the cleanroom infrastructure that is used to run a CVD process. Week 3: Physical vapor deposition (PVD)
This module on physical vapor deposition describes in details the two main PVD methods; thermal evaporation and sputtering. Week 4: Lithography
This module on lithography describes in details the two main resist patterning methods: optical and electron beam lithography. Week 5: Dry etching
This module on dry etching describes etching in a gas environment. We will introduce etching directionality and anisotropy and give a few simple rules for choosing dry etching processes for specific materials in a plasma reactor and provide theoretical concepts that characterize a plasma in a dry etching equipment. Week 6: Wet etching
This module on wet etching describes etching in a liquid environment. We will introduce anisotropic wet etching of silicon substrates, where certain lattice planes are etched and others not, isotropic etching of silicon, and finally thin membrane microfabrication techniques using wet etching. Week 7: Inspection and metrology
This module describes methods of inspection and metrology based on four technique categories: optical, mechanical, charged beam and electrical.
Prérequis
Basics in Physics and Chemistry
Intervenants
Juergen Brugger
Professor in Microengineering and Materials Science
EPFL
Martin Gijs
Professor of Microsystems
EPFL
Éditeur
L'École polytechnique fédérale de Lausanne (EPFL) est une université de recherche située à Lausanne, en Suisse, spécialisée dans les sciences physiques et l'ingénierie.
L'École polytechnique fédérale de Lausanne est l'une des deux écoles polytechniques fédérales suisses. Elle a été fondée par le gouvernement fédéral suisse avec la mission suivante :
former des ingénieurs et des scientifiques au plus haut niveau international
être un centre national d'excellence en science et en technologie
Fournir un centre d'interaction entre la communauté scientifique et l'industrie.
L'EPFL est considérée comme l'une des universités les plus prestigieuses au monde dans le domaine de l'ingénierie et des sciences. Elle est classée 17e au classement général et 10e dans le domaine de l'ingénierie dans le QS World University Rankings 2015 ; 34e au classement général et 12e dans le domaine de l'ingénierie dans le Times Higher Education World University Rankings 2015.
Plateforme
EdX est une plateforme d'apprentissage en ligne (dite FLOT ou MOOC). Elle héberge et met gratuitement à disposition des cours en ligne de niveau universitaire à travers le monde entier. Elle mène également des recherches sur l'apprentissage en ligne et la façon dont les utilisateurs utilisent celle-ci. Elle est à but non lucratif et la plateforme utilise un logiciel open source.
EdX a été fondée par le Massachusetts Institute of Technology et par l'université Harvard en mai 2012. En 2014, environ 50 écoles, associations et organisations internationales offrent ou projettent d'offrir des cours sur EdX. En juillet 2014, elle avait plus de 2,5 millions d'utilisateurs suivant plus de 200 cours en ligne.
Les deux universités américaines qui financent la plateforme ont investi 60 millions USD dans son développement. La plateforme France Université Numérique utilise la technologie openedX, supportée par Google.
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